靜電吸盤 應用

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使用靜電吸盤之優勢如下：. 1、為整接觸面吸附，可吸附鏤空箔板。 2、使用靜電力吸附，可在真空環境下使用。 3、傳統機械夾持邊緣會有夾痕，靜電吸盤無此問題。

■ 什麼是靜電吸盤What is Electrostatic Chuck?

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無線吸盤Move-Free Supporter 經過吸附設定後，可電源斷開分離，自由移動做傳輸載具應用，可提供薄化晶圓或薄型玻璃的形狀或硬度補強。 ​專利庫倫力型靜電吸盤擁有許多獨有 ...

什麼是靜電吸盤

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大家使用的電腦、智慧型手機、汽車、家電用品等等許多電子產品，內部是由『IC晶片』所驅動。IC晶片為半導體製程中的基板材料，而不管是真空環境或是大氣環境下，『靜電吸盤 ...

介電材料之靜電吸盤吸附力探討

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靜電吸盤（Electrostatic Chuck,ESC）已經廣泛的被半導體界所使用，而現在更應用到其他的業界中，例如應用在面版廠中可拿來固定ITO導電玻璃。此零組件之應用範圍日漸 ...

介電材料之靜電吸盤吸附力探討

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... 靜電吸盤的應用範圍應該會越來越廣。本論文即是再討論各種不同介電性質之材料對於靜電吸盤吸附力之影響。本實驗利用靜電吸盤之測試平台，針對五種不同介電性質之材料做靜電 ...

半導體蝕刻機所用靜電盤為何?

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半導體靜電盤應用 ... 半導體蝕刻機為寡占市場，主要供應商有TEL、應材、科林（LAM）等大廠，一部蝕刻機價格上億元，其內部的關鍵零件自然不便宜，以靜電吸盤（ESC）為例，原 ...

多物理仿真應用於靜電吸盤之晶圓熱傳分析

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靜電吸盤上的背部冷卻於晶圓溫度及均勻度上扮演著關鍵的角色。本文並顯示出氦氣相較於其它鈍性氣體展現出一最佳的熱傳遞效果，與壓力呈線性關係且在製程中易受環境的變動， ...

威思曼高压电源应用于静电吸盘领域

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静电吸盘又称静电卡盘（英文简称：ESC或E-Chuck）是一种利用静电吸附原理夹持固定被吸附物的夹具，适用于真空及等离子体环境，主要作用是吸附超洁净 ...

技術應用

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Automation applications · 可使用於導體，半導體與絕緣體等多種材料 · 解決搬運多孔性產品(布料，導線架…)，可撓性產品(玻璃，銅箔…) 和生物等自動化難題 ...

靜電吸盤產品資訊

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